氮化硅制品熱壓燒結爐是用石墨作發熱元件的立式真空電阻爐，外有框架式四立柱支撐體。下有液壓油缸升降為壓力源，可供氮化硅制品、金屬化合物、陶瓷、無機化合物、納米材料等在真空或保護氣氛中加熱壓制產品。

產品主要技術參數

1.   工作腔室尺寸: 可定制

2.   冷態極限真空度：6 x 10-3pa（冷態）

3.   壓升率：  ≤1 Pa/h

4.   控溫區：一區控溫

5.   最高溫度：2000度（常用溫度≤1900℃）;

6.   最大壓力：可定制

7.   真空配置：根據實際配置選定;

8.   電器控制：各種電器原件，實現超溫、超壓、水欠壓報警，氣體超壓連鎖功能;

9.   可充氣體：氬氣，氮氣等惰性氣體進行實驗保護;

10. 充氣壓力：≤0.05MPa（微正壓，超過可自動調整放氣）;

11. 壓頭直徑：根據客戶要求;

12. 最大行程：根據客戶要求）；

13. 加熱功率： 以設計位置

14. 控溫方式：可編程程序自動控制。

15. 測溫方式：熱電偶，

16. 爐體結構：側開門，爐體為SUS304雙層不銹鋼；

17. 溫度均勻性：±5度（1800℃時）；